ガス流路に感温抵抗体を置いて電流で加熱し、その温度とガス温度との差が一定になるように電流を制御するサーマルマスフローメータ。特徴は、①視認性に優れたデジタル表示付き、②CEマーキング対応、③デジタルおよびアナログインタフェース付き、④高信頼性小型Pt温度センサによる速い応答性、⑤ステンレス精密鋳造の流路で低コスト化、⑥警報、積算パルス発生など各種機能を内蔵、⑦最小0〜2ℓ／min（nor）、最大0〜1000ℓ／min（nor）をカバーする広い流量範囲、など。