コントローラ内蔵電動リニアステージ
X-LRM-DEシリーズ
スチール構造と循環ボールベアリングガイドにより、剛性と熱安定性に優れたZaber社製コントローラ内蔵電動リニアステージ。特徴は、①50nm分解能リニアエンコーダ内蔵により、スリップ/ストール検出が可能、②フルクローズドループ制御によって、ストローク200mm以上でも位置決め精度は15μm、③耐荷重50kgで、XYやXYZなど多軸ステージ構成に最適、④ドライバ内蔵、⑤スタンドアローン、⑥ほかのZaber社製品とデイジーチェーン接続可能、など。
- 会社名
- テクノロジーリンク(株)
- 所在地
- 東京都豊島区南池袋3-18-35
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