クリーン環境下で、清浄度を確保しながら使用できるクリーン精密位置決めテーブル。特徴は、①軽量／低断面／コンパクトな『TE』をベースに、テーブル内部の密閉性を高めた構造で清浄度クラス3を実現、②送り機構に精密ボールねじを採用し、高精度な位置決めが可能、③スライドテーブルと一体構造の直動案内部とボールねじに潤滑部品Cループを内蔵し、長期メンテナンスフリーを実現、④アルマイト処理を施した高強度アルミニウム合金とステンレス鋼を使用し、耐食性に優れている、など。