ギ酸対応チャンバへ任意の濃度（1〜5vol％。理論値）でギ酸ガスを供給するガス発生ユニット。特徴は、①保安機能は、N₂圧力低下、AIR圧力低下、ギ酸バブリング容器過昇温、ギ酸バブリング容器圧力異常、ギ酸配管過昇温など万全なもの、②要望に応じてカスタマイズ可能、③ギ酸以外の液体についても応相談、など。主な仕様は、還元ガス源：ギ酸、ベースガス：N₂などの不活性ガス、ギ酸ガス供給量：2ℓ/min、ギ酸容器容量：125mℓ、など。