同社独自のCMOSens技術を採用したガス流量コントローラ。特徴は、①シングルチップに高精細なカロリメトリックマイクロセンサ（MEMS）素子と増幅器およびA/D変換回路を単一のチップ上に一体化、②センサ信号はデジタルでのキャリブレーションにより温度補償され、高精度、速い測定時間、広いダイナミックレンジを実現、③流量レンジ：0?50m?/分、0?500m?/分、0?5?/分、0?20?/分、④繰り返し精度0.1％、など。