半導体製造装置などのクリーン度の要求される流量計測に最適な小口径配管用ガイド波式クランプオン超音波流量計。特徴は、①既設のチューブを挟むだけで流量計測が可能なため、配管の施工が不要、②配管内に接触しないため、本質的にクリーンに保たれる、③1台で最大6ラインを同時計測可能、④複数台連結接続可能（渡り配線不要）、⑤30m秒の高速演算処理、⑥計測前にゼロ点調整を行うことで、最適な条件で計測を開始できる、など。