優れた測定性能を備え、高精度なインクリメンタル位置の測定を実現するエンコーダシステム。特徴は、①取り付け公差が広いため、取り付け中に微調整がいらず、簡単に取り付けられる、②ヘッド内部に同社の高性能内挿分割技術を組み込んでいるのでアダプタを追加する必要やインタフェースを個別に用意する必要がない、③テジタル出力のコンパクトなオールインワン光学式エンコーダ、③広い取り付け公差（取付け高さ：±0.2mm、ヨー：±0.9°）、④最高速度：24m/s（0.1μmの分解能で3.63m/s）、⑤汚れに対する耐久性を強化して確実な動作を実現、⑥分解能：5μm〜50nm、など。