Class1クリーンルーム対応のエアベアリングステージ。特徴は、①ストロークは50〜500mm（50mmごと）、②エンコーダは用途により1〜0.05μmまで選択可能、③真直度／平面度は0.5μm／300mm、④ピッチング／ヨーイングは±2arc秒、⑤コイル／マグネット／エンコーダなしの状態から、すべて組み込み済み状態での納入も可能、⑥繰り返し位置決め精度：±0.1〜±1μm、⑦定格推力：139N、⑧最高速度：2mm/秒、⑨可搬重量：50kg、など。