Class1クリーンルーム対応のエアステージ。特徴は、①ストロークは50〜500mm、②エンコーダは用途により1〜0.05μmまで選択可能、③真直度、平面度は0.5μm/300mm、④ピッチング、ヨーイングは±2arc秒、⑤コイル、マグネット、エンコーダなしの状態からすべて組み込み済み状態での納入も可能、⑥標準化により低コスト、短納期を実現、⑦XYステージのラインアップも用意、など。