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注目製品
2022.08.19
ウエハ搬送ロボット搭載全自動測定システム
WS-8800

接触式、フルオートタイプのウエハ搬送ロボット搭載全自動測定システム。特徴は、①厚さ測定、PN判定、温度測定に対応可能(シリコンウエハ)、②セルフテスト機能、③広範囲測定レンジ、④厚さ/周辺位置/温度補正機能(抵抗率(比抵抗)測定)、⑤カセット数は要望によりいくつでも対応可能、⑥オプションで、通信ソフトウエア、SMIFまたはFOUP対応、⑦測定対象は半導体、太陽電池材料関連(シリコン、ポリシリコン、SiCなど)、その他、⑧測定サイズ:3〜8インチ(または12インチ)、⑨測定範囲:抵抗率…100μ〜1MΩ・cm、シート抵抗…1m〜10MΩ/sq、など。

会社名
ナプソン(株)
所在地
東京都江東区亀戸2-36-12