接触式、フルオートタイプのウエハ搬送ロボット搭載全自動測定システム。特徴は、①厚さ測定、PN判定、温度測定に対応可能（シリコンウエハ）、②セルフテスト機能、③広範囲測定レンジ、④厚さ／周辺位置／温度補正機能（抵抗率（比抵抗）測定）、⑤カセット数は要望によりいくつでも対応可能、⑥オプションで、通信ソフトウエア、SMIFまたはFOUP対応、⑦測定対象は半導体、太陽電池材料関連（シリコン、ポリシリコン、SiCなど）、その他、⑧測定サイズ：3〜8インチ（または12インチ）、⑨測定範囲：抵抗率…100μ〜1MΩ･cm、シート抵抗…1m〜10MΩ/sq、など。