1mm□ウエハチップを非接触にて把持するウエハチップ非接触搬送装置。特徴は、①ノズルより気体を噴出することで、エゼクタ効果およびベルヌーイ効果による負圧と、圧力式エアクッション効果による正圧を生じ、非接触状態で把持する、②0.7〜15mm□のウエハチップ／HDDスライダや1.0mmφの微小球状レンズを非接触状態で懸垂把持／ハンドリングが可能、③ワークに傷／汚れを付着させない、④ワークにストレスを生じさせない、など。