高速／高精度で保守性に優れたパワーモジュール検査向けインライン型3D-CT方式X線自動検査装置。特徴は、①独自技術「プラナーCT」方式により、少ない撮像枚数で高精細な断層像を撮像、②検出が難しい多層はんだ接合部のボイド検出に対応する新開発検査アルゴリズムによる高品質画像3D検査、③視野拡大による撮像時間短縮、ワークサイズ拡大によるサイクルタイム短縮、④メンテナンスフリーなハードウエアへのアップグレード、など。