SAシリーズの200サイズをアップデートし、X軸標準設定、θ軸のトルクUPを実現したアライメントステージ。特徴は、①直線位置決め用のXテーブルであるSA200DE/Xを標準設定として新規追加し、回転位置決め用であるSA200DE/Sと組み合わせることで、XYθ軸の3方向に可動、②コアレスリニアモータとIKOリニアウェイL、IKOクロスローラベアリングを採用し、極めて低い断面高さを実現、③θ軸のモータ設計を見直し、トルクUPを実現、など。