X／Y／Zの3軸として組み上げた製品もラインアップされているアクチュエータ。主な仕様（参考なので仕様は別途問い合わせ。使用型式は、X軸：ETB22M、Y軸：ETH17、Z軸：ETH14）は、繰り返し精度（mm）：X軸±0.04／Y軸±0.005／Z軸±0.005、リード（mm）：X軸40／Y軸20／Z軸10、ストローク（mm）：X軸550〜3500／Y軸100〜650／Z軸50〜550（※50ピッチ）、最高速度（mm/s）：X軸2000／Y軸1000／Z軸500、モータ出力（W）：X軸750／Y軸400／Z軸400（ブレーキ付き）、など。