高真空排気装置
DS-Zシリーズ

コンパクトにユニット化され、真空容器に容易に接続できる高真空排気装置。
特徴は、
①AC100Vで使用可能、
②安全回路により油回転ポンプと油拡散ポンプを保護、
③油拡散ポンプとコールドトラップにて高真空領域まで排気、
④空冷/水冷式から選択可能、
⑤主弁フランジ上向き仕様の製作可能(オプション)、
⑥オプションで各種真空計を準備、
⑦ピラニ真空計(PT-4P)標準装備、
⑧ターボ分子ポンプ仕様(DS-Tシリーズ)も用意、
など。
- 会社名
- アトーテック(株)
- 所在地
- 東京都足立区足立1-5-5
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