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注目製品
2021.01.21
高剛性ステージ
M-511.HD

ピエゾフレクシャドライブとDCサーボ/ボールねじドライブの利点を融合した高剛性ステージ。 特徴は、 ①ストローク:100mm、最大速度:50mm/秒、 ②再現性のあるナノメートルレベルのインクリメントを実行、 ③分解能2nmをほこるリニアエンコーダを内蔵、 ④ナノメートル精度でミリセカンドのセットリングタイム、 ⑤摩擦のないピエゾ駆動及びフレクシャデカップリングボールねじ、 ⑥バックラッシュやスティック/スリップ効果のアクティブ補償、 ⑦すぐれた速度制御、 ⑧アプリケーション例は、表面検査、顕微鏡による検査、レーザテクノロジ、 など。

会社名
ピーアイ・ジャパン(株)
所在地
東京都立川市曙町2-38-5