ピエゾフレクシャドライブとDCサーボ／ボールねじドライブの利点を融合した高剛性ステージ。

特徴は、
①ストローク：100mm、最大速度：50mm/秒、
②再現性のあるナノメートルレベルのインクリメントを実行、
③分解能2nmをほこるリニアエンコーダを内蔵、
④ナノメートル精度でミリセカンドのセットリングタイム、
⑤摩擦のないピエゾ駆動及びフレクシャデカップリングボールねじ、
⑥バックラッシュやスティック／スリップ効果のアクティブ補償、
⑦すぐれた速度制御、
⑧アプリケーション例は、表面検査、顕微鏡による検査、レーザテクノロジ、
など。