自動カセット/BOX洗浄システム
CRD-4500

高効率/高清浄度/省エネ/省スペースを実現した自動カセット/BOX洗浄システム。
特徴は、
①最大8インチウエハ用容器まで対応可能、
②装置ローダ/アンローダ部に安全対策としてライトカーテンを設置、
③同社独自の純水ジェット洗浄方式で精密な洗浄を実現、
④ホットエア乾燥方式により、短時間での完全乾燥処理が可能、
⑤電力/純水使用量の省エネ化を実現、
⑥高輝度タッチパネルにより、操作性/安全性が向上、
など。
- 会社名
- ヒューグルエレクトロニクス(株)
- 所在地
- 東京都千代田区飯田橋4-5-7

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