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注目製品
2021.01.21
自動カセット/BOX洗浄システム
CRD-4500

高効率/高清浄度/省エネ/省スペースを実現した自動カセット/BOX洗浄システム。 特徴は、 ①最大8インチウエハ用容器まで対応可能、 ②装置ローダ/アンローダ部に安全対策としてライトカーテンを設置、 ③同社独自の純水ジェット洗浄方式で精密な洗浄を実現、 ④ホットエア乾燥方式により、短時間での完全乾燥処理が可能、 ⑤電力/純水使用量の省エネ化を実現、 ⑥高輝度タッチパネルにより、操作性/安全性が向上、 など。

会社名
ヒューグルエレクトロニクス(株)
所在地