予備加熱〜本加熱〜冷却をモジュール内で高速処理する真空はんだリフロー炉。特徴は、①CCコンポジットヒータと独自の冷却機構をもちいることで急速加熱／急速冷却を実現、②最大加熱温度500℃（真空中／不活性ガス雰囲気）、③電子天秤によるギ酸残量管理およびオートリフィル機構を装備、④XY単軸ロボットと把持軸エア駆動アクチュエータを組み合わせたワーク自動搬送ロボット搭載、⑤モジュール数が1／2／3の3型式を用意、など。