直動エアベアリングステージ
A-110

磁気的にプリロードされた空気ベアリングおよび内蔵光学リニアエンコーダによるリニアサーボモータ駆動の直動エアベアリングステージ。特徴は、①スキャニングまたは高分解能ボジショニングに最適、②クリーンルームに対応、③カスタマイズ可能、④テーブルサイズ:160×200mm、⑤移動長さ:最大400mm、⑥最大ペイロード:10kg、⑦非接触完全プリロード空気ベアリング、⑧アイアンレスコギングフリーリニアモータ、⑨内蔵光学リニアエンコーダ、⑩最大分解能:1nm、⑪最大速度:1m/sec、最大加速度:3g、など。
- 会社名
- ピーアイ・ジャパン(株)
- 所在地
- 神奈川県川崎市幸区堀川町580

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