揺動ピストン型ドライ真空ポンプ
DOP-181S

半導体の後工程に最適な揺動ピストン型ドライ真空ポンプ。
特徴は、
①大排気量でコンパクトサイズ、
②接ガス部に油を使用していないドライタイプ、
③サーマルプロテクタ内蔵による安全設計、
④シンプル構造でメンテナンスが容易、
⑤実効排気速度:180または200?/分、
⑥到達圧力:10.0kPa(?91.3kPaG)、
⑦使用電動機により5機種をラインアップ、
⑧吸排気口径:Rc3/8、
⑨使用雰囲気温度:7?40℃、
⑩質量:12kg、
など。
- 会社名
- アルバック機工(株)
- 所在地
- 横浜市港北区北新横浜1-10-4

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