薄型の硬質皮膜の物性を測定する微小硬さ試験機。特徴は、①ピコメートル領域での高精度の距離測定や、数マイクロニュートンまでの小さい荷重調整ができるので、荷重／押し込み深さ法（インデンテーシヨン試験法）によってきわめて薄型の皮膜または表面部分の機械的物性を特徴づけられる、②ISO14577-1およびASTM E 2546準拠の押し込み試験により、ナノ領域を含むマルテンス硬さHM、弾性特性値やその他の材料パラメータを測定可能、③オートフォーカス式電動Z軸により取り扱いが容易、④サンプルの前処理無しでほとんどのサンプルをすばやく測定できる、など。