対物レンズフォーカス用ピエゾ
MD-100シリーズ

長ストロークレンジと高い剛性を高レベルで両立し、高速なステップ動作が可能な対物レンズフォーカス用ピエゾ。
特徴は、
①基本性能の『MD-100L』、ローコストな変位センサ内蔵タイプの『MD-100LS』、高安定な静電容量変位センサ内蔵タイプの『MD-100LC』から選択可能、
②変位センサ内蔵タイプは、クローズドピエゾコントローラと組み合わせることで高精度な位置決めが可能、
③用途に合わせた形状カスタマイズなどにも対応可能、
など。
- 会社名
- (株)メステック
- 所在地
- 埼玉県和光市白子2-17-2

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