大型吸着盤
カーボン製

ガラス基板を多孔質体で全面吸着固定する大型吸着盤。
特徴は、
①多孔質体により偏りのない均一な全面吸着を実現し、ガラス基板へ吸着痕を残すことなく確実な真空吸着固定が可能、
②構造部材にアルミハニカムを採用することで、大型化した際の重量増加を抑えつつ、強度と剛性を確保、
③最大2,200×2,400mm(G8サイズ相当)まで大型化が可能、
④ガラス基板の帯電を防止、
⑤ハレーションによる誤検知を防止、
など。
- 会社名
- (株)タンケンシールセーコウ
- 所在地
- 東京都大田区矢口3-14-15

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