可動テーブルとベッドの間にACリニアサーボモータを組み込み光学式リニアエンコーダを内蔵したコンパクトで高精度な位置決めテーブル。特徴は、①軽量な可動テーブルと大きな推力で高加減速、高応答な動作を可能とする、②ダイレクトドライブと先進のサーボ技術で高い速度安定性を実現、③先進のサーボ技術により高い静止安定性を実現、④新たな高推力仕様品は既存の高推力仕様と比較し約17％の定格推力アップを実現。コンパクトでも大きな推力を発生。高加減速、高応答な位置決めを実現し、タクトタイムの短縮に貢献、⑤コンパクトな形状でありながら最大推力390Nを実現、など。