空気／窒素／酸素の質量流量を温度、圧力の変動に影響されずに計測する低コストタイプのミニサーマルマスフローメータ。特徴は、①従来型の高性能はそのままに、徹底的なデザインの見直しにより低コストを達成、②現場指示タイプの流量計で計測を行っていたプロセスを手軽にリモート化することができる、③市販電源が使用できる（DC±12VまたはDC±15V電源、DC24V電源）、④90％応答0.5秒以内の高速応答、⑤全量通過方式による低圧力損失、など。