4色LEDと独自の新MWE（Multi-Wavelength Ellipsometer）技術を採用したマルチスペクトルエリプソメータ。特徴は、①マルチスペクトルでありながら分光エリプソメトリと同等の精度の計測が可能、②光源には4つの可視光LED（青465nm、緑525nm、黄580nm、赤635nm）を採用、③寿命（50000時間以上）で装置の利用期間中にLED交換や位置を合わせる必要がない、④動作中、各LEDは各波長におけるエリプソメトリックデータ取得を10ms未満で取得、⑤FS-1光源ユニットの内部オプティックスにて4つのLEDライトが明るく均一な一筋の光へと統合される、⑥ln Situでリアルタイム計測を実現、など。