トレバー社の薄膜専門知識を駆使し、高速の応答時間、高精度のプロセス制御を実現するフレキシブル薬液ヒータ。特徴は、①高純度テフロンPFA-HG管を使用した高純度液路により、パーティクルトラップとしてのエラストマOリング、デッドレグ（液溜り）が不要、②独自のフレキシブル加熱技術により、高速の温度応答を実現、③既存の薬液供給装置に容易に組み込み、接続が可能、④薬液路の万一の漏洩を考慮した二重構造液路、など。