ヒータユニット
PZT高温成膜用
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多元系酸化物半導体用成膜に最適なヒータユニット。特徴は、①ヒータ面温度max900℃(使用条件による)、②優れた均熱性(800℃±10℃)、③昇温特性(100℃/10分)、④ダストフリー、出ガスが限りなく少ないため、真空にて使用可能、⑤Cl系、F系を除く、ほとんどのガス雰囲気に対応、⑥製作可能標準サイズはφ4〜12インチで、そのほか四角形/長方形などにも対応、⑦真空チャンバ/排気系/ガス導入系も併せて製作可能、など。
- 会社名
- (株)オーナルテック
- 所在地
- 大阪府茨木市中穂積3-14-41
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