ターボ分子ポンプ排気装置
VPT-060

ダイアフラムポンプとターボ分子ポンプの組み合わせにより、完全ドライを実現したターボ分子ポンプ排気装置。
特徴は、
①ベース架台にターボ分子ポンプ(60L/秒)とドライ真空ポンプ(20L/分)などの必要機器をコンパクトに構成、
②完全ドライの排気ユニット、
③半導体/分析/検査/理化学/製薬などの各分野におけるクリーンな真空環境に最適、
④設置スペースがコンパクト(最大寸法:W340×D340×H355mm)、
など。
- 会社名
- アルバック機工(株)
- 所在地
- 横浜市港北区北新横浜1-10-4
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