ダイアフラムポンプとターボ分子ポンプの組み合わせにより、完全ドライを実現したターボ分子ポンプ排気装置。 特徴は、 ①ベース架台にターボ分子ポンプ（60L/秒）とドライ真空ポンプ（20L/分）などの必要機器をコンパクトに構成、 ②完全ドライの排気ユニット、 ③半導体／分析／検査／理化学／製薬などの各分野におけるクリーンな真空環境に最適、 ④設置スペースがコンパクト（最大寸法：W340×D340×H355mm）、 など。