エアベアリングステージ
LBT-275

Class1クリーンルーム対応のエアベアリングステージ。特徴は、①ストロークは50〜500mm(50mmごと)、②エンコーダは用途により1〜0.05μmまで選択可能、③真直度、平面度は0.5μm/300mm、④ピッチング、ヨーイングは±2arc秒、⑤コイル/マグネット/エンコーダなしの状態からすべて組み込み済み状態での納入も可能、⑥位置決め精度:±0.15〜±10N、⑦繰り返し位置決め精度:±0.1〜±1μm、⑧定格推力:139N、など。
- 会社名
- TOYO ROBOTICS(株)
- 所在地
- 神奈川県藤沢市大庭5138-1

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