ポーラス（多孔質体）と吸引による負圧を利用して薄いモノを高精度かつ平面に吸着固定するポーラスチャック。特徴は、①帯電除去可能なポーラス材（体積抵抗率：約10⁷Ω・cm）を使用し、静電気対策に最適、②選定可能気孔径：10〜230μm、③帯電除去素材や傷に強く、レーザ加工に最適、など。