温度補償機能を備えたフルキャリブレーション済みのMEMSピラニ真空トランスデューサ。特徴は、①MEMS PiraniセンサとMEMSピエゾ抵抗式圧力センサを組み合わせ、高精度な測定を実現、②内蔵の電子回路がセンサ信号をデジタル化し、I2Cインタフェースを介して出力、③測定範囲：1〜760000mTorr（0.013Pa〜101kPa）、④精度は15〜10000mTorrで15％、それ以上の範囲でも15％、⑤応答時間は250m秒で、低消費電力設計、⑥汚染に強い、など。