広い温度範囲における長期使用でも安定した自己位置推定や姿勢制御に貢献する産業機器向け高精度6DoF慣性力センサ。特徴は、①−40〜110℃と広い動作温度範囲（特に−40〜85℃の温度範囲で優れたオフセット特性を実現）、②優れた低ノイズ／低ドリフトジャイロ（Typical値：ノイズ密度0.0004（°/s）/√Hz、バイアス不安定性0.3°/h）、③3D MEMSとダブルディファレンシャル構造、パッケージ技術による低VRE（振動整流誤差）、④自己診断機能とSCH16Tシリーズ内でのピン／ソフトウエア互換性、など。