クリーン仕様のキャリアハンドラ装置。特徴は、①基板の供給はマガジン供給に対応、②プッシャー位置はマニュアルにて設定可能、③駆動部／搬送部の発塵抑制によりクリーン化を実現、④安全対策としてプッシャー押し出し、キャリア引き出し動作のそれぞれに過負荷検出機能、⑤処理能力（参考値）引き出し時間2〜15秒、⑥検査ステージ用治具はカスタマイズ可能、⑦マガジンから検査ステージへの動作は押し出しのみあるいはキャリア戻し機能付き双方を選択可能、など。