露光／酸化処理などのアプリケーションに好適な真空紫外用SiCフォトダイオード。特徴は、①高耐久、②低暗電流、③低温度依存、④可視光不感、⑤分光感度：170〜355nm、ピーク波長：280nm（Typical値）、など。