接触式でセミオートタイプ（多点測定システム）の接触式抵抗率／シート抵抗測定器。特徴は、①ステージ一体タイプ、②厚さ／周辺位置／温度補正機能／シート抵抗／メタル膜厚表示機能の他、セルフテスト機能を備えた、測定パターンプログラマブル、円型／角型測定対応マッピングソフトウエア、③対象サイズは8インチまたは156×156mmまで、④測定レンジは抵抗率（比抵抗）が1m〜300kΩ・cm、シート抵抗が5m〜10MΩ/sq、など。