高精度鉄製リニアステージ
LXY
標準化により低コストを実現した高精度鉄製リニアステージ。特徴は、①半導体検査装置用途として海外での納入実績が豊富、②XYステージもラインアップ、③ストローク:±150mm、④位置決め精度:±0.3N、繰り返し位置決め精度:150N、⑤定格推力:579N、最大推力:695N、⑥標準ストローク:50〜500mm、⑦真直度/平面度:±1.5/±3μm、⑧エンコーダ分解能:1〜0.05μm、⑨可搬重量:10kg、など。
- 会社名
- TOYO ROBOTICS(株)
- 所在地
- 神奈川県藤沢市大庭5138-1
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