国内の半導体産業や精密加工分野で普及し、日本の測定技術としてISO-25178（3次元形状／表面の粗さの国際規格）に『ポイントオートフォーカス法』と命名され登録された、レーザオートフォーカスをもちいた非接触3次元測定装置。特徴は、①大型ワークにも対応可能で、高精度と使いやすさを実現、②測定対象を傷つけることなく測定が可能、③急斜面や凹凸の大きな測定が可能、④鏡面やレンズなどの透明体もダイレクトに測定が可能、など。