ウエハ搬送ロボット搭載による4探針法を採用したフルオートタイプの接触式抵抗率／シート抵抗測定器。特徴は、①厚さ測定、PN判定、温度測定に対応可能（シリコンウエハ）、②セルフテスト機能、広範囲測定レンジ、③厚さ／周辺位置／温度補正機能（抵抗率（比抵抗）測定）、④カセット数は要望により、いくつでも対応可能、⑤オプションにより、通信ソフトウエア、SMIFまたはFOUP対応、⑥測定サイズ：3〜8インチ（または12インチ）、など。