新型FIBカラムの搭載により、大面積加工のスループット向上に加え、TEM試料作製の完全自動化をAI技術で実現したXeプラズマFIB-SEM。特徴は、①Xeプラズマをイオン源としたFIBとSEMが一体化、②プラズマXeイオンの高ビーム電流により、大面積（最大1mm幅）のFIB断面加工を高速で実現、③ナノメートルオーダーの位置精度で狙った個所の微細な加工が容易、④Gaフリーの試料作製によりサンプルを損傷することなく解析が可能、など。