対応が難しかった半導体ウエハなどの低位相差サンプルを対象とした近赤外全自動歪み検査器。特徴は、①Si／SiC／GaN／ガラスウエハの歪み分布評価が可能、②サイズ50×50mmを面分布で1分で評価可能、③有色ガラス／アクリル樹脂製品の歪み分布評価が可能、④表示項目：位相差（nm）／応力（MPa）、⑤評価範囲：0〜200nm、⑥測定有効サイズ：約60×60mm、⑦検査方式：近赤外（NIR）回転検光子法、⑧外観寸法／重量（本体）：W300×D353×H540mm／22kg、など。