コストパフォーマンスに優れたPFA渦式フローセンサ。特徴は、①最小0.3ℓ/分、最大150ℓ/分までの流量域で測定が可能、②シンプル＆クリーンな構造で、半導体製造プロセスの超純水／水／低粘度薬液などの流量管理に最適、③高信頼のカルマン渦式を採用し、可動部がなく、定期的な保守点検は不要、④低圧力損失、⑤小型／軽量、⑥5種類の流量レンジに加え、電流出力タイプ、パルス出力タイプ、表示／警報／電流出力タイプをラインアップ、など。