クリーンルームなど室内の様々な気流の変化を的確に測定するクリーンルーム用3次元超音波風速計。特徴は、①新デジタル処理により信頼性の高いデータ取得が可能、②「ゼロ」m/秒からリニアでハイレスポンスの測定が可能、③超音波方式により温度補正が不要で、温度変化に対する測定値のドリフトなし、④0.5秒のレスポンスで追従、⑤標準添付の気流監視ソフトウエアにより、データ収録、再現表示、空間イメージ表示が可能、など。