クリーンルーム用エネルギー供給システム
e-skin flatシリーズ
ISO14644-1に準拠したクリーンルーム等級クラス1に適合する、耐摩耗性に優れたクリーンルーム用エネルギー供給システム。特徴は、①電子機器製造におけるロボットやそのほかの自動化システムに最適、②通常レベルの粉塵環境で、約1年半にわたり6000万回往復稼動後、クリーンルーム試験室で100分以上稼動させてもISOクラス1維持を確認、③ケーブルを収納したチャンバが破損した場合、破損チャンバのみの交換で対応可能、など。
- 会社名
- イグス(株)
- 所在地
- 東京都墨田区錦糸1-2-1
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