大型空冷ユニットの採用により高品質性能をもつ高性能N₂リフロー装置。特徴は、①大型空冷ユニット採用、加湿エリア、冷却エリアにそれぞれ配置することで、フラックス除去されたN₂空気をそのままそれぞれのエリアに戻し、温度と酸素濃度を安定して管理できる、②新採用の大型空冷式冷却ユニットは、フラックスを装置背面に設置されたユニットに回収し、フラックス回収効率向上、③独自の新ノズル形状により、基板上での温度のばらつきが従来モデルより改善、など。