非破壊での膜厚測定および素材分析に理想的なハイエンドモデルの蛍光X線方式膜厚測定器。特徴は、①ユーザーフレンドリーな設計で、測定するあらゆる面でサポートし、良質に測定タスクに取り組める、②ポリキャピラリーレンズの採用により最小10μm（オプション）の測定スポットサイズにX線を集束し、非常に高い励起強度を得られ、短い測定時間で結果が得られる、③プログラム可能なXY測定ステージにより自動測定も可能、など。