高分解能X線源と高感度検出器を搭載したナノフォーカス横照射型X線CT。特徴は、①JIMAチャート0.4μm分解能を保証し、半導体電子部品の分野で豊富な納入実績のある同社製開放管型X線源を搭載、②高解像度検出器との組み合わせで、同社X線源の特徴である長波長の軟X線領域を最大に活用し、ハイコントラストかつ高精細な3次元CT観察を実現、③高精度回転試料ステージを搭載により、100nm以下の空間分解能を実現するだけでなく、非停止撮像を可能とし、撮像時間を従来の1/8以下に大幅短縮、など。