タッチパネルを採用したPCを搭載し、微細加工プロセスのPC制御が可能な小型ECRイオンシャワー装置。特徴は、①ECR型イオン銃を搭載した無電極放電方式の表面処理加工や、微細なばり取りや仕上げ加工に最適、②サブミクロン領域でのアンダーカット、サイドカットの少ない異方性エッチングが可能、③低加速電圧でも高い電流密度が得られるため、基板へのダメージの少ないエッチング、表面クリーニングなどが可能、など。