高出力130kVのX線源により20層以上の多層基板やパワーデバイス検査に最適な3D-X線ステレオ方式X線観察装置。特徴は、①130kV、300μAの高出力X線源で銅板5mmも透過可能、②寿命が長い130万画素X線フラットパネルによりランニングコストが大幅に低減、③X線ステレオ方式によって実装基板の表面、裏面の分離（約4秒）、④X線ステレオCT方式によって実装基板の水平断面300層取得（約50秒）、⑤CT機能を用いた自動検査（OK／NG判定）、⑥2次元コードを用いてのトレーサビリティ対応、など。